Fundamentals of nanoscale film analysis
Auteur :
Alford, Terry L.
Éditeur :
Alford, Terry L.Feldman, L.C.,Mayer, James W.,
ISBN :
9780387292601
Date de publication :
16 févr. 2007
Dimensions :
23,4 x 15,6 x 2,0 cm
Poids :
675 g
Format :
Laminated cover
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
From materials science to integrated circuit development, technology is moving from the microscale toward the nanoscale. This book reviews the fundamental physics underlying techniques for analyzing the surfaces and near-surfaces.