Unconventional nanopatterning techniques and applications

Éditeur : John Wiley & Sons Inc
ISBN : 9780470099575
Date de publication : 28 nov. 2008
Dimensions : 24,4 x 16,3 x 3,6 cm
Poids : 975 g
Langue : Anglais
Pays d'origine : USA

Patterning or lithography is at the core of modern science and technology and cuts across all disciplines. With the emergence of nanotechnology, conventional methods based on electron beam lithography and extreme ultraviolet photolithography have become prohibitively expensive.

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