Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices
Auteur :
Auciello, Orlando
ISBN :
9780792322658
Date de publication :
30 avr. 1993
Dimensions :
23,5 x 15,5 x 3,4 cm
Poids :
1089 g
Format :
Laminated cover
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies, Bad Windsheim, Germany, September 21-October 2, 1992