Micromachining and microfabrication process technology v
Auteur :
Smith, James H.
ISBN :
9780819434715
Date de publication :
30 sept. 1999
Dimensions :
26,7 x 21,0 cm
Poids :
1021 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
A selection of 45 papers on the process technology of microfabrication and micromachining.