Materials and device characterization in micromachining ii

Auteur :
Vladimirski, Yuli (University of Wisconsin
ISBN :
9780819434722
Date de publication :
31 août 1999
Dimensions :
26,7 x 21,0 cm
Poids :
612 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
A collection of 28 scientific papers addressing materials and device charaterization in micromachining.