Micromachined devices and components v

Auteur :
French, Patrick J.
ISBN :
9780819434739
Date de publication :
31 août 1999
Dimensions :
26,7 x 21,0 cm
Poids :
726 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
These conference proceedings consist of 32 papers discussing a range of aspects of micromachined devices and components.