Electronics and structures for mems

Auteur : Bergmann, Neil W.
ISBN : 9780819434920
Date de publication : 31 oct. 1999
Dimensions : 26,7 x 21,0 cm
Poids : 998 g
Langue : Anglais
Pays d'origine : USA

A selection of 51 papers on various aspects of the electronics and structures used in the field of microelectromechanical systems.

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