Electronics and structures for mems

Auteur :
Bergmann, Neil W.
ISBN :
9780819434920
Date de publication :
31 oct. 1999
Dimensions :
26,7 x 21,0 cm
Poids :
998 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
A selection of 51 papers on various aspects of the electronics and structures used in the field of microelectromechanical systems.