Chemical vapour deposition: precursors, processes and applications
Éditeur :
Royal Society of Chemistry
ISBN :
9780854044658
Date de publication :
22 déc. 2008
Dimensions :
24,6 x 18,9 cm
Poids :
1352 g
Format :
Unsewn / adhesive bound
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Grande Bretagne
A comprehensive overview on the key aspects of chemical vapour deposition processes written by practising CVD technologists who are also leading international experts.