Tungsten and other refractory metals for vlsi applications iii: volume 3
Éditeur :
Materials Research Society
ISBN :
9780931837845
Date de publication :
1 avr. 1988
Dimensions :
23,5 x 15,8 x 3,3 cm
Poids :
900 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
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