Green etching techniques for mems applications: sustainable, fluorine-free etching methods for micro-electro-mechanical systems
Auteur :
Wang, Kaiying
Éditeur :
Taylor & Francis Ltd
ISBN :
9781041144960
Date de publication :
18 déc. 2025
Dimensions :
23,4 x 15,6 cm
Poids :
410 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Grande Bretagne
Green Etching Techniques for MEMS Applications delivers an essential and comprehensive exploration of sustainable, fluorine-free etching methodologies for micro-electro-mechanical systems (MEMS).