Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization: fabrication of next-generation nanodevices
Auteur :
Paik, Ungyu / Park, Jea-Gun
Éditeur :
Taylor & Francis Inc
ISBN :
9781420059113
Date de publication :
20 févr. 2009
Dimensions :
23,4 x 15,6 cm
Poids :
570 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
Increasing reliance on electronic devices demands products demostration high performance and efficiency. Such devices can be realized through the advent of nanoparticle technology.