Microelectronic test structures for cmos technology
Auteur :
Bhushan, Manjul / Ketchen, Mark B.
Éditeur :
Springer-Verlag New York Inc.
ISBN :
9781441993762
Date de publication :
30 août 2011
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products.