Amorphous silicon carbide thin films: deposition, characterization, etching & piezoresistive sensors applications
Éditeur :
Nova Science Publishers Inc
ISBN :
9781613247747
Date de publication :
12 janv. 2012
Dimensions :
15,5 x 23,0 cm
Poids :
198 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA