Low-k nanoporous interdielectrics: materials, thin film fabrications, structures & properties
Auteur :
Ree, Moonhor / Yoon, Jinhwan / Heo, Kyuyoung
Éditeur :
Nova Science Publishers Inc
ISBN :
9781616687496
Date de publication :
19 mars 2011
Dimensions :
15,5 x 23,0 cm
Poids :
138 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA