Silicon sensors and actuators: the feynman roadmap
Éditeur :
Springer Nature Switzerland AG
ISBN :
9783030801373
Date de publication :
15 avr. 2023
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
This book thoroughly reviews the present knowledge on silicon micromechanical transducers and addresses emerging and future technology challenges.