Dry etching technology for semiconductors
Auteur :
Nojiri, Kazuo
Éditeur :
Nojiri, Kazuo
ISBN :
9783319102948
Date de publication :
3 nov. 2014
Dimensions :
23,5 x 15,5 x 1,0 cm
Poids :
368 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse