Epitaxy of semiconductors: introduction to physical principles
Auteur :
Pohl, Udo W.
Éditeur :
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN :
9783642329692
Date de publication :
10 janv. 2013
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Allemagne
The book covers the structural and electronic properties of strained epitaxial layers, the thermodynamics and kinetics of layer growth, and the description of the major growth techniques metalorganic vapor phase epitaxy, molecular beam epitaxy and liquid phase epitaxy.