Poly-sige for mems-above-cmos sensors
Auteur :
Gonzalez Ruiz, Pilar / De Meyer, Kristin / Witvrouw, Ann
Éditeur :
Springer
ISBN :
9789400767980
Date de publication :
30 juil. 2013
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Nederlands
Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors demonstrates the compatibility of poly-SiGe with post-processing above the advanced CMOS technology nodes through the successful fabrication of an integrated poly-SiGe piezoresistive pressure sensor, directly fabricated above 0.13 ïm Cu-backend CMOS.