Plasma processing of semiconductors
Auteur :
Williams, P. F.
ISBN :
9789401064866
Date de publication :
12 oct. 2012
Dimensions :
24,0 x 16,0 x 3,2 cm
Poids :
987 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Bonaire, Saba
Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Chateau de Bonas, France, 17-28 June 1996