Tribology in chemical-mechanical planarization
Auteur :
Liang, Hong / Craven, David
Éditeur :
Taylor & Francis Ltd
ISBN :
9780367393250
Date de publication :
19 sept. 2019
Dimensions :
23,4 x 15,6 cm
Poids :
453 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Grande Bretagne