Spectroscopic ellipsometry: principles and applications
Auteur :
Fujiwara, Hiroyuki
Éditeur :
John Wiley & Sons Inc
ISBN :
9780470016084
Date de publication :
26 janv. 2007
Dimensions :
23,5 x 16,0 x 2,7 cm
Poids :
765 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE).