Advanced etch technology for nanopatterning: 13-14 february 2012, san jose, california, united states
Auteur :
Zhang, Ying
Éditeur :
Zhang, Ying
ISBN :
9780819489845
Date de publication :
15 mai 2012
Dimensions :
22,9 x 15,2 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
USA