Plasma electronics: applications in microelectronic device fabrication
Auteur :
Makabe, Toshiaki / Petrović, Zoran Lj.
Éditeur :
Taylor & Francis Ltd
ISBN :
9781138034150
Date de publication :
26 oct. 2016
Dimensions :
23,4 x 15,6 cm
Poids :
760 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Grande Bretagne