Flash lamp annealing: from basics to applications
Auteur :
Rebohle, Lars / Prucnal, Slawomir / Reichel, Denise
Éditeur :
Springer Nature Switzerland AG
ISBN :
9783030233013
Date de publication :
14 août 2020
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey.