Process variations in microsystems manufacturing
Auteur :
Huff, Michael
Éditeur :
Springer Nature Switzerland AG
ISBN :
9783030405588
Date de publication :
10 avr. 2020
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.