Epitaxy of semiconductors: physics and fabrication of heterostructures
Auteur :
Pohl, Udo W.
Éditeur :
Springer Nature Switzerland AG
ISBN :
9783030438715
Date de publication :
22 juil. 2021
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
The book discusses the structural and electronic properties of strained epitaxial layers, the thermodynamics and kinetics of layer growth, and it describes the major growth techniques: metalorganic vapor-phase epitaxy, molecular-beam epitaxy, and liquid-phase epitaxy.