Design for manufacturability with advanced lithography
Auteur :
Yu, Bei / Pan, David Z.
Éditeur :
Springer International Publishing AG
ISBN :
9783319373935
Date de publication :
23 août 2016
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL).