Metal impurities in silicon- and germanium-based technologies: origin, characterization, control, and device impact
Auteur :
Claeys, Cor / Simoen, Eddy
Éditeur :
Springer International Publishing AG
ISBN :
9783319939247
Date de publication :
22 août 2018
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Suisse
material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.