3d and circuit integration of mems
Éditeur :
Wiley-VCH Verlag GmbH
ISBN :
9783527346479
Date de publication :
21 avr. 2021
Dimensions :
24,4 x 17,0 x 3,0 cm
Poids :
1134 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Allemagne