Atomic layer processing: semiconductor dry etching technology
Auteur :
Lill, Thorsten
Éditeur :
Wiley-VCH Verlag GmbH
ISBN :
9783527346684
Date de publication :
21 avr. 2021
Dimensions :
25,2 x 17,8 x 3,1 cm
Poids :
567 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Allemagne