Sputtering by particle bombardment i: physical sputtering of single-element solids
Auteur :
Behrisch, R.
ISBN :
9783662308882
Date de publication :
17 août 2013
Dimensions :
23,5 x 15,5 x 1,6 cm
Poids :
462 g
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Allemagne
With contributions by numerous experts