Nanoimprint lithography: an enabling process for nanofabrication
Auteur :
Zhou, Weimin
Éditeur :
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
ISBN :
9783662510865
Date de publication :
23 août 2016
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Allemagne
Nanoimprint Lithography: An enabling process for nanofabrication presents a comprehensive description of nanotechnology that is one of the most promising low-cost, high-throughput technologies for manufacturing nanostructures, and an emerging lithography candidates for 22, 16 and 11 nm nodes.