Micro and nano fabrication technology
Éditeur :
Springer Verlag, Singapore
ISBN :
9789811300974
Date de publication :
16 juil. 2018
Dimensions :
23,5 x 15,5 cm
Langue :
Anglais
Pays d'origine :
Singapour
This volume focuses on the state-of-the-art micro/nanofabrication technologies for creating miniature structures with high precision.